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 大型量测显微镜

大型量测显微镜
 
[ 620mm*920mm 龍門型精密量測機台 ]
 
规格说明  
1.有效量測長尺寸:X軸:620mm,Y軸:920mm。
2.Z軸行程:150mm。
3.最大量測高度:150mm。
4.量測精度:X軸:3+4.5L/1000μm;Y軸: 3+4.5L/1000μm。(最小移動尺寸:1μm)
5.Z軸精度:3μm(最小移動尺寸:1μm)。
6.X、Y軸之再現精度:5μm。
7.Z軸之再現精度:1μm。
8.驅動方式:導螺桿P=20mm(X、Y軸)。
9.Z軸驅動方式:導螺桿P=2mm。
10.Table平面光學玻璃為調整型,平面度:300μm以下。
11.機台尺寸:1900㎜×1400㎜×1800㎜。
12.Table之高度:700~800mm。
13.X、Y軸之最大驅動速度:250mm/sec。
14.Z軸之最大驅動速度:30mm/sec。
15.X、Y、Z驅動方式,微調用手輪,最小微動1μm 操作中畫面八方向及Z軸分粗動、微動三種速度調整。
16.花崗石平台(00級)尺寸:1600×1200×150(mm)。
17.環繞地板耐荷重:5kg/cm2,溫度變動:2℃/室內,支持腳座6只,地板
接合面積:φ160mm。
 
[ 1200mm*700mm 龍門型精密量測機台 ]
 
规格说明  
1.待測物之尺寸:4:3→60”,16:9→47”。
2.機台設計X、Y兩軸:行程:X軸:1200mm,Y軸:700mm。
3.定位精度:0.1mm。
4.鋼結構底座:高強度鋼管設計,穩定性高。
5.治具設計:
  最大夾持工件:60吋。
  最小夾持工件:10吋。
  治具前後方均可直接安裝工作物。
  工作物治具可左右,上、下兩方向微調±5。。
  工作治具左下角為機械原點。
6.量測儀器之架設:兩種儀器架設於Y軸之治具上、下兩方,其位置依所需之規格設計。
7.控制機能:
  由PLC控制。
  伺服馬達400W及驅動器。
  連接介面、控制器及軸卡。
  介面部份以RS232-C連接。
 
 
[ 1300mm*800mm 龍門型精密量測機台 ]
 
规格说明  
1. 有效量測長尺寸:X軸:1300mm,Y軸:800mm。
2. Z軸行程:100mm。
3. 最大量測高度:100mm。
4. 量測精度:X軸:4+5L/1000μm;Y軸:4+5L/1000μm。(最小移動尺寸:1μm)
5 Z軸精度:3μm(最小移動尺寸:1μm)。
6. X、Y軸之再現精度:5μm。
7. Z軸之再現精度:1μm。
8. 驅動方式:導螺桿P=20mm(X、Y軸)。
9. Z軸驅動方式:導螺桿P=2mm。
10. Table平面光學玻璃為調整型,平面度:300μm以下。
11. 機台尺寸:W2600㎜×D2200㎜×H1800㎜。
12. 軸之最大驅動速度:250mm/sec。
14. Z軸之最大驅動速度:50mm/sec。
15. X、Y、Z驅動方式,微調用手輪,最小微動1μm 操作中畫面八方向及Z軸分粗動、微動三種速度調整。
16. 花崗石平台(歐規00級)。
17. 環繞地板耐荷重:5kg/cm2,溫度變動:2℃/室內,支持腳座6只, 地板接合面積:φ160mm。
[ 600mm*600mm 龍門型精密量測機台 ]
 
规格说明  
1. 最大測定物尺寸:X軸:600mm,Y軸:600mm。Z軸行程:150mm。
2. 量測精度:μ1X軸:4+6L/1000μm;μ1Y軸:4+6L/1000μm。
3. Z軸精度:1μm(最小移動尺寸:1μm)。
4. X、Y軸之再現精度:±2μm。
5. Z軸之再現精度:2μm。
6. 光學尺讀值:1μm。
7. X、Y軸驅動方式:日製高鋼性精密滾珠導螺桿。
8. 光學玻璃工作平台T=16㎜。
9. Table之高度:900~950mm。(配合客戶需求)
10. X、Y軸之最大驅動速度:300mm/sec。
11. Z軸之最大驅動速度:50mm/sec。
12. X、Y、Z三軸操控方式:
13. 各軸手動速度分成高-中-低速, 三段速度可任意切換, 各段對應速度可由系統參數畫面設定調整
14. 使用精密搖桿( Joystick )可以8方向控制XY軸。
15. 搭配精密手搖輪( MPG )可以精準而且容易的達到1μm的微細移動
16. XYZ軸最高移動解析度: 1μm。
17. 設備移動的最高速度, 加減速及穩定時間可由參數調整。
18. 影像式自動對焦約2-3秒。
19. 機台尺寸:W1600×D1600×H1500(mm)。
 
[ 8.5代龍門型精密影像量測系統 ]
 
 
[ 8.5代龍門型精密影像量測系統 ]


 
 
 
 
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