EUV lithography machine light source

• 详细介绍
• 详细参数

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  TEUS-S100

  EUV light source technical specifications

  Main specifications

  Average laser power 100W

  Maximum pulse repetition rate 25kHz

  EUV light source can collect angle 0.05sr

  Bandwidth conversion efficiency (13.5 nm±1%) Radiation 2% @2π·sr

  Bandwidth ЕUV flux internal angle collection debris mitigation system (13.5nm±1%) 8.5mW

  Spectral brightness of the debris mitigation system in the bandwidth band (13.5nm±1%) 90W/mm2·sr

  Plasma size* 60um

  Plasma stability** 3% RMS

  Equipment life cycle and maintenance requirements

  In the operating mode, no special membrane filter is required, and the life of the collector can be degraded by 1% 0 not less than 12 months

  Using a special membrane filter, running in the operating mode, can reduce the life of the collector not less than 24 months

  Maintenance every 8 months 8 hours

  Uptime in 24/7 operation mode 4 months

  Power supply, equipment size and specifications

  Power 6.5 kW

  Size (L×W×H) 1400×1000×1200mm

  Weight, including laser accessories 770Kg

  Equipment requirements

  Room cleanliness ISO7

  Water flow 10L/min

  
  

• 详细参数

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。