极紫外光源

• 详细介绍
• 详细参数

• 详细介绍

  Resonance EUV无窗口光源是一种射频激发的流动光源，在EMI屏蔽外壳中有一个细管孔。这个光源可以安装在33.78毫米或更大的CF型法兰上。

  灯组件有一个整体的射频励磁机，它由一个小的电源供电。这种供应足以在每秒钟10个光子的范围内产生主要中性稀有气体的排放。

  
  

  Resonance公司生产的EUV流动型光源系统可以配置为无窗口的EUV辐射源，也可以配置可更换LiF或MgF2窗口的光源。该系统具有可互换的窗口，可用于产生超过LiF 104nm的辐照。如果再接入一个Resonance公司生产的VM系列单色仪，这将作为一个波长从58nm-800nm的可调光源。

  
  

• 详细参数

  输入功率

  110-240V

  电源

  20W RF

  波长范围

  58-800nm

  电流

  0.5A @ 110V max.

  重量

  800g

  强度

  >10E15 photons/sec/str(major spectral lines)

  真空接口

  2.75 inch CF flange standard

  
  

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。